Formation of Slit-Like Voids at Trench Corners of Damascene Cu Interconnects
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概要
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- Japan Institute of Metalsの論文
- 2002-07-01
著者
-
小池 淳一
東北大
-
小池 淳一
東北大工
-
Koikei Junichi
Department Of Materials Science Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Koike Junichi
Department Of Materials Science Tohoku University
-
Koike Junichi
Department Of Materials Science Graduate School Of Engineering Tohokuuniversity
-
MARUYAMA Kouichi
Department of Environmental Studies, Graduate School of Environmental Studies, Tohoku University
-
SEKIGUCHI Atsuko
Department of Clinical Research, Oriental Medicine Research Center, Kitasato University
-
Sekiguchi Atsuko
Department Of Clinical Research Oriental Medicine Research Center Kitasato University
-
Sekiguchi Atsuko
Department Of Materials Science Tohoku University
-
Maruyama Kouichi
Department Of Anesthesiology Saitama International Medical Center Saitama Medical University
-
Maruyama Kouichi
Department Of Materials Science Tohoku University
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