銅薄膜の室温再結晶における不均一ひずみの影響
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概要
著者
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小池 淳一
東北大
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小池 淳一
東北大学工学研究科
-
丸山 公一
東北大学 大学院環境科学研究科環境科学専攻
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小池 淳一
東北大工
-
丸山 公一
東北大学工学部
-
Koikei Junichi
Department Of Materials Science Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
和田 真
東北大学大学院
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