銅薄膜の室温再結晶における不均一ひずみの影響

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概要

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• 日本金属学会の論文
• 2003-04-20

著者

• 小池 淳一

  東北大

• 小池 淳一

  東北大学工学研究科

• 丸山 公一

  東北大学 大学院環境科学研究科環境科学専攻

• 小池 淳一

  東北大工

• 丸山 公一

  東北大学工学部

• Koikei Junichi

  Department Of Materials Science Graduate School Of Engineering Tohoku University

• 和田 真

  東北大学大学院

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