InP単結晶インゴットアニール過程の転位密度の3次元解析

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概要

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• 日本計算工学会の論文
• 2003-05-20

著者

• 宮崎 則幸

  九州大学大学院工学研究院化学工学部門

• 隈本 彰寛

  九州大学大学院工学府物質プロセス工学専攻

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