高誘電率材料および強誘電体のシリコンLSIへの応用
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概要
著者
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藤田 静雄
京都大学大学院
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徳光 永輔
東工大
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藤田 静雄
京大国際融合総合センタ
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藤田 静雄
「応用物理」編集委員会
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吉見 信
「応用物理」編集委員会
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徳光 永輔
「応用物理」編集委員会
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村上 英一
「応用物理」編集委員会
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吉見 信
株式会社東芝 セミコンダクター社 Soc研究開発センター 高性能cmosデバイス技術開発部
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