回折モアレ光を用いた位置決め装置における回折格子設定誤差の影響
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概要
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- 1999-01-01
著者
-
古橋 秀夫
愛知工大
-
劉 京南
東南大学
-
内田 悦行
愛知工大
-
周 礼中
揚州大学
-
Chitnis Vijay
Length Standart Section National Physical Laboratory
-
松尾 晃仁
愛知工業大学
-
劉 京南
中国東南大
-
周 礼中
中国楊州大
-
松尾 晃仁
愛知工大
-
CHITNIS V.
Indian National Physical Lab.
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