1127 回折モアレ位置決め特性のレーザビーム径依存性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
As the increase in the density of the VLSIs, the circuit patterns become smaller. In the lithographic process, patterning accuracy of a tenth part of the minimum feature size is demanded. Therefore, precision alignment between masks and wafer are important. The methods using moire technique were found to give high alignment accuracy. We have realized an automatic mask alignment, using moire signals controlled by a computer, with accuracy of 4nm. In this paper, the moire signals have been calculated by using computer simulation. The laser beam diameter (number of the slits in the gratings) affects the moire signals. We discuss about the influence of the laser beam diameter on the alignment accuracy for an alignment system using moire signals.
- 2000-07-31
著者
関連論文
- ポリメチルメタクリレート/ターシャリブチルバナジルフタロシアニン複合膜の光双安定特性の入力光強度依存性
- 分子線エピタキシー法でガラス基板上に作製されたバナジルフタロシアニン薄膜の相構造変化に伴う熱刺激電流
- 173.光変調パターン投影法による三次元形状の全周計測((12)新しい光応用関連分野)
- 回折モアレ光を用いた位置決め装置における設定格子の角度特性
- 回折モアレ光を用いた位置決め装置における回折格子設定誤差の影響
- 回折モアレ信号を用いた超精密位置決め装置の精度
- 回析モアレ技法による角度位置決め装置の動作特性
- CARSによるArFエキシマレーザー放電中のF_2密度測定
- 放電励起ArFレーザプラズマ中の電子密度計測
- 傾斜機能材料のレーザー加工
- ポリイミド上に堆積されたバナジルフタロシアニン薄膜の形態と非線形光学特性への有機ガス効果
- 分子線エピタキシーにより作製され,有機ガスで処理されたバナジルフタロシアニン薄膜の配向(プロジェクト研究)
- 有機ガスによるバナジルフタロシアニン(VOPc)膜の分子配向制御
- 異なる熱処理条件によって形成されたバナジルフタロシアニン単結晶
- 分子線エピタキシ-法により NaCl 基板上に作製されたバナジルフタロシアニン膜の 3 次高調波
- KBr基板に作製されたバナジルフタロシアニン薄膜の初期堆積機構と単結晶形成過程
- OME2000-57 有機ガス処理されたバナジルフタロシアニン膜の相転移
- 有機ガス処理されたKBr基板上のバナジルフタロシアニン膜の相遷移
- 分子線エピタキシー法によりKBr基板上作製されたバナジルフタロシアニン薄膜
- 機能性レーザ加工技術の開発と産業応用に関する研究
- D-11-91 格子投影による三次元立体計測(D-11. 画像工学D(画像処理・計測), 情報・システム2)
- 535 ロボットハンドで制御された光学式三次元形状計測システム
- 535 ロボットハンドで制御された光学式三次元形状計測システム
- 153. 空間光変調パターン投影法による三次元形状計測のズーミング対応
- 傾斜機能材料のエキシマレーザーアブレーションプラズマ中の電子密度特性
- エキシマレーザ生成アブレーションプルームの特性
- エキシマレーザー生成アブレーションプラズマの特性
- 光音響効果を用いた材料診断システム
- 画像映像情報の立体可視化技法に関する研究III : 三次元立体表示
- MBE法により各種基板上に作製されたVOPc薄膜の形態評価
- 非線形有機膜光導波路による光双安定
- 非線形有機膜光導波路による光双安定(有機エレクトロニクス・一般)
- 非線形有機膜光導波路による光双安定
- 画像映像情報の立体可視化技法に関する研究II : 物体の三次元形状計測における測定精度の向上(プロジェクト研究)
- 回折モアレ信号による位置決めシミュレーション
- 画像映像情報の立体可視化技法に関する研究(プロジェクト研究)
- レーザを用いたリソグラフィ用マスクアライナの開発
- モアレ信号を用いた超精密角度位置決め
- 回折モアレ光を用いた超精密位置決め技法とその精度
- 回折モアレ信号を用いた精密角度位置決め
- 回折モアレ法によるナノメータ精度アライメント
- 回折モアレ信号を用いたナノメータ精度位置決め
- MBE法によりKBr基板上に作製されたバナジルフタロシアニン単結晶とそのSHGとTHG
- バナジルフタロシアニン蒸着薄膜の作製と構造評価
- ポリエチレンテレフタレート膜上に作製されたバナジルフタロシアニン薄膜の形態と非線形光学特性
- ポリエチレンテレフタレート基板上に作製されたバナジルフタロシアニン薄膜の非線形光学特性(一般研究)
- ポリエチレンテレフタレート基板上の作製されたバナジルフタロシアニン薄膜の非線型光学特性
- D-11-71 光学的三次元形状計測における光軸と CCD カメラのズーム特性
- 光三次元形状計測における中間輝度の利用
- 画像差分による光三次元形状計測時の表面模様除去
- 空間光変調パターン投影を用いた三次元形状計測システムにおける測定範囲拡大と精度の向上
- 空間光変調パターン投影を用いた三次元形状計測システムにおける測定範囲拡大と精度の向上
- バナジルフタロシアニン誘導体LB膜の作製と電気特性
- テトラカルボキシバナジルフタロシアニンLB膜の作製と電気特性
- MBE法によりKBr上に作製されたバナジルフタロシアニン単結晶とそのSHGとTHG
- エピキタシー成長したバナジルフタロシアニン膜の非線形光学特性
- KBr基板上に作製されたVOPc単結晶の成長機構
- MBE法によりKBr上に作製されたバナジルフタロシアニン単結晶とそのSHG
- 画像映像情報の立体可視化技法に関する研究(3)三次元立体表示
- 166.空間光変調パターン投影法による三次元形状計測 : 三次元形状計測システムの構築と精度向上について((12)その他光関連分野)
- 165. 強度変調と画像差分による光学的三次元形状計測技術((11)その他光関連分野)
- 137. 画像差分による光学的三次元形状計測の精度向上((10)光放射の応用および関連計測)
- 159. 光学式形状計測システムにおける画像処理速度((10)光放射の応用および関連計測)
- ホストーゲスト薄膜により作成されたプリズム結合導波路の光双安定特性
- KBr 基板上に作製されたバナジルフタロシアニン薄膜の結晶形態と非線形光学特性
- 大気汚染処理用酸化チタン機能性材料の作製
- 301 回転式濾材を有する連続固液分離機でのせん断力の影響
- 706 回転式濾材を有する連続式因液分離機の開発に関する研究(流体工学2)
- 1127 回折モアレ位置決め特性のレーザビーム径依存性
- 放電励起ArFエキシマレーザーのシミュレーションモデル
- 半導体レーザーの光音響効果を利用した欠陥検出と光音響信号の伝搬特性
- 分子線エピタキシー法でKBr, 雲母基板上に作製したバナジルフタロシアニン単結晶の評価
- 検出領域可変な広視野衝突防止センサシステム
- 分子線エピタキシー法によるバナジルフタロシアニン単結晶膜成長の基板温度依存性
- 分子線エピタキシー法によるバナジルフタロシアニン単結晶膜成長の基板温度依存性
- 放電物理の将来像--放電の光源への応用とその物理
- 高周波マグネトロンスパッタリングによる YBaCuO 系超伝導膜の膜厚特性
- 縦形放電励起エキシマレーザ中のプラズマの実験的研究
- フィゾ-型レ-ザ-干渉変位計の開発
- ArFエキシマレーザ放電における励起種の生成機構