ArFエキシマレーザ放電における励起種の生成機構
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概要
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Time-resolved density measurements of excited components in a discharge pumped ArF excimer laser were performed using laser absorption probing with a cw dye laser pumped by a Ar^+ laser. The dependence of the He^* 2p^3P densities on the gas parameters were measured. The relationships between laser output power and the number densities of He^* are discussed. The relationships between the laser output power and the formation rate of Ar^+ ions by Penning ionization with He^* atoms are also discussed.
- 愛知工業大学の論文
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