新しい線接触形ポリシング法の研究(第1報) -基本概念と装置の原理試作-
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概要
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- 1996-09-01
著者
-
土肥 俊郎
埼玉大学教育学部
-
河西 敏雄
埼玉大学工学部
-
酒井 謙児
(株)東京精密
-
中川 威雄
東京大学生産技術研究所先端素材開発研究センター
-
大松沢 純人
芝浦工業大学
-
新井 清健
埼玉大学教育学部
-
中川 威雄
東京大学生産技術研究所
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