OHTO Koichi | NEC Electronics

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概要

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著作論文

High Performance SiN-MIM Decoupling Capacitors with Surface-smoothed Bottom Electrodes for High-speed MPUs
A Robust Embedded Ladder-Oxide/Cu Multilevel Interconnect Technology for 0.13μm Complementary Metal Oxide Semiconductor Generation
Surface Control of Bottom Electrode in Ultra-Thin SiN Metal–Insulator–Metal Decoupling Capacitors for High Speed Processors

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