木下 敦寛 | (株)東芝 研究開発センター LSI基盤技術ラボラトリー
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概要
関連著者
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古賀 淳二
(株)東芝 LSI基盤技術ラボラトリー
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著作論文
- Ni-FUSI/SiO(N)界面不純物効果とFUGE(Fully Germanided)電極の仕事関数決定要因の考察(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- 不純物偏析を利用した低障壁ショットキートランジスタ(VLSI回路,デバイス技術(高速,低電圧,低電力))
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