久保田 正文 | 松下電器産業(株)
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概要
関連著者
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久保田 正文
松下電器産業(株)
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服藤 憲司
松下電器産業(株)
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久保田 正文
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服藤 憲司
松下電器産業株式会社半導体研究センター
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松下電器産業(株)半導体研究センター
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三坂 章夫
松下電器産業株式会社半導体研究センター
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松下電器産業(株)
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超先端電子技術開発機構
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松下電器産業株式会社半導体研究センター
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松下電器産業(株)半導体研究センター
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松下電器産業(株)
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松下電器産業株式会社材料研究所
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松下電器産業 (株) 半導体研究センター
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松下電器産業(株)
著作論文
- 反応性スパッタ法によるHfO_2膜の作製と電気特性評価
- シミュレーションを用いたポリシリコンゲートエッチングにおける形状と寸法の制御解析
- シミュレーションを用いたポリシリコンゲート・エッチングのプロファイル制御
- 新しい表面反応モデルを取り入れたドライエッチングシミュレーション
- ドライエッチングのモデリングとシミュレーション