シミュレーションを用いたポリシリコンゲートエッチングにおける形状と寸法の制御解析
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概要
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- 1996-05-30
著者
-
三坂 章夫
松下電器産業(株)半導体研究センター
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中川 秀夫
超先端電子技術開発機構
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久保田 正文
松下電器産業(株)
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服藤 憲司
松下電器産業(株)
-
大國 充広
松下電器産業(株)
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中川 秀夫
松下電器産業(株)
-
大國 充弘
松下電器産業株式会社半導体研究センター
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三坂 章夫
松下電器産業株式会社半導体研究センター
-
久保田 正文
松下電器産業株式会社半導体研究センター
-
服藤 憲司
松下電器産業株式会社半導体研究センター
-
三坂 章夫
松下電器産業(株)
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