新しい表面反応モデルを取り入れたドライエッチングシミュレーション

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1992-11-20

著者

• 三坂 章夫

  松下電器産業(株)半導体研究センター

• 野村 登

  松下電器産業株式会社材料研究所

• 久保田 正文

  松下電器産業(株)

• 服藤 憲司

  松下電器産業(株)

• 野村 登

  松下電器産業(株)半導体研究センター

• 三坂 章夫

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 久保田 正文

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 野村 登

  松下電器産業 半導体研セ

• 服藤 憲司

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 三坂 章夫

  松下電器産業(株)

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