久保田 正文 | 松下電器産業株式会社半導体研究センター

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概要

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関連著者

• 久保田 正文

  松下電器産業(株)

• 服藤 憲司

  松下電器産業(株)

• 久保田 正文

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 服藤 憲司

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 三坂 章夫

  松下電器産業(株)半導体研究センター

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  松下電器産業(株)

• 中川 秀夫

  超先端電子技術開発機構

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• 大國 充弘

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 野村 登

  松下電器産業株式会社材料研究所

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• 野村 登

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  松下電器産業(株)

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著作論文

• シミュレーションを用いたポリシリコンゲートエッチングにおける形状と寸法の制御解析
• シミュレーションを用いたポリシリコンゲート・エッチングのプロファイル制御
• 新しい表面反応モデルを取り入れたドライエッチングシミュレーション
• ドライエッチングのモデリングとシミュレーション

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