服藤 憲司 | 松下電器産業株式会社半導体研究センター

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関連著者

• 服藤 憲司

  松下電器産業(株)

• 服藤 憲司

  松下電器産業株式会社半導体研究センター

• 久保田 正文

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著作論文

• シミュレーションを用いたポリシリコンゲートエッチングにおける形状と寸法の制御解析
• シミュレーションを用いたポリシリコンゲート・エッチングのプロファイル制御
• 新しい表面反応モデルを取り入れたドライエッチングシミュレーション
• 電子ビ-ム直接描画のための近接効果補正システム (半導体-2-バイポ-ラ 化合物半導体 製造技術 品質技術) -- (製造技術・品質技術)
• ドライエッチングのモデリングとシミュレーション

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