電子ビ-ム直接描画のための近接効果補正システム (半導体-2-バイポ-ラ 化合物半導体 製造技術 品質技術<特集>) -- (製造技術・品質技術)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- シミュレーションを用いたポリシリコンゲートエッチングにおける形状と寸法の制御解析
- シミュレーションを用いたポリシリコンゲート・エッチングのプロファイル制御
- 新しい表面反応モデルを取り入れたドライエッチングシミュレーション
- 電子ビ-ム直接描画のための近接効果補正システム (半導体-2-バイポ-ラ 化合物半導体 製造技術 品質技術) -- (製造技術・品質技術)
- ドライエッチングのモデリングとシミュレーション
- ICNS-4, GaN及び関連の窒化物半導体の材料技術及びプロセス, デバイス技術に関する国際会議