清田 幸弘 | 日立製作所中央研究所
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概要
関連著者
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清田 幸弘
日立
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清田 幸弘
日立製作所中央研究所
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鷲尾 勝由
株式会社日立製作所中央研究所
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鷲尾 勝由
(株)日立製作所中央研究所ulsi研究部
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日立デバイス
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日立製作所中央研究所
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鷲尾 勝由
日立製作所中央研究所
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有働 勉
日立超LSIシステムズ
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日立デバイスエンジニアリング
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児玉 彰弘
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日立製作所中央研究所
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小田 克矢
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(株)日立製作所デバイス開発センタ
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菊池 俊之
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橋本 尚
日立・システム研
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渡邊 圭紀
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近藤 将夫
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大植 栄司
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近藤 将夫
日立製作所中央研究所
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法政大学工学部
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田邊 正倫
(株)ルネサス北日本セミコンダクタ
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細江 英之
(株)日立製作所 デバイス開発センタ
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田邊 正倫
(株)ルネサス北日本セミコンダク
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山口 修
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著作論文
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- リンドープポリSiエミッタを用いた超高速Siバイポーラトランジスタ
- HC1フリー選択エピタキシャル成長によるSiGe HBT(III族窒化物研究の最前線)
- HClフリー選択エピタキシャル成長によるSiGe HBT(III族窒化物研究の最前線)
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- SiGe選択エピタキシャル成長前の基板表面清浄化方法がHBT特性に与える影響の検討
- UHV/CVD法によるSi低温(600℃)エピタキシャル成長技術の検討