内野 俊 | (株)日立製作所中央研究所

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概要

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• 芝 健夫

  (株)日立製作所中央研究所

• 内野 俊

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• 玉置 洋一

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 芝 健夫

  日立製作所中央研究所

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• 玉置 洋一

  日立製作所 デバイス開発センタ

• 菊池 俊之

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• 宮内 昭浩

  (株)日立製作所日立研究所

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• 宮内 昭浩

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著作論文

• 高濃度ボロンドープ・Siエピタキシャル成長技術を用いたソース/ドレイン積み上げ構造MOSFETの試作
• リンドープポリSiエミッタを用いた超高速Siバイポーラトランジスタ

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