大塚 文雄 | (株)半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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概要
関連著者
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大塚 文雄
(株)半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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有門 経敏
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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大塚 文雄
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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峰地 輝
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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安平 光雄
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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半導体先端テクノロジーズ(selete)第一研究部
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峰地 輝
半導体先端テクノロジーズ(selete)第一研究部
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佐々木 隆興
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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田村 泰之
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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小崎 浩司
半導体先端テクノロジーズ(Selete)第一研究部
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奈良 安雄
半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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松木 武雄
半導体先端テクノロジーズ(selete)
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赤坂 泰志
東京エレクトロン株式会社
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奈良 安雄
(株)富士通研究所 Ulsi研究部門
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奈良 安雄
(株)半導体先端テクノロジーズ 第一研究部
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鳥居 和功
(株)半導体先端テクノロジーズ
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松木 武雄
(株)半導体先端テクノロジーズ
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鳥居 和功
日立製作所中央研究所
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青山 知憲
半導体先端テクノロジーズ(selete)
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犬宮 誠治
(株)半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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赤坂 泰志
(株)半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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渡辺 俊成
半導体先端テクノロジーズ(selete)
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奈良 安雄
(株)半導体先端テクノロジーズ
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犬宮 誠治
(株)半導体先端テクノロジーズ
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泉 直希
半導体先端テクノロジーズ(selete)第一研究部
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中川 義和
半導体先端テクノロジーズ(Selete)第一研究部
著作論文
- 高電子移動度0.9nm-EOT TaSix/HfSiONゲートスタックの形成(先端CMOSデバイス・プロセス技術)
- 低スタンバイ電力用途HfSiONトランジスタの高集積化
- 低消費電力対応65nmノードCMOSプロセス : LOP対応極浅接合技術、LSTP対応HfSiONトランジスタ技術(VLSI回路,デバイス技術(高速,低電圧,低電力))
- 低消費電力対応65nmノードCMOSプロセス : LOP対応極浅接合技術、LSTP対応HfSiONトランジスタ技術(VLSI回路,デバイス技術(高速,低電圧,低電力))
- 低消費電力用途を目的とした極浅接合を有する65nmノードCMOSプロセス(IEDM特集:先端CMOSデバイス・プロセス技術)
- ゲート絶縁膜国際ワークショップ(IWGI 2003)会合報告
- High-kゲート絶縁膜を有する65nmノードSRAM技術 (特集 次世代半導体製造のための新プロセス技術・新材料)