窒化物半導体異種接合の界面評価と制御 (特集 ワイドギャップ半導体・パワー素子の表面科学)
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概要
著者
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Yatabe Zenji
Lab. De Thermodyn. Et Energe. Des Flu. Comp. Umr Total Cnrs 5150 Univ.
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谷田部 然治
北海道大学 大学院情報科学研究科 および 量子集積エレクトロニクス研究センター
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Yatabe Zenji
Graduate School of Information Science and Technology, and Research Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido University, Sapporo 060-0814, Japan
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谷田部 然治
北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター
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