ドライエッチ面を含むAlO/AlGaN/GaN構造の界面評価 (シリコン材料・デバイス)
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概要
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- 2012-05-17
著者
-
Yatabe Zenji
Lab. De Thermodyn. Et Energe. Des Flu. Comp. Umr Total Cnrs 5150 Univ.
-
金 聖植
北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター
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