微細InGaAs MOSFETに適用可能な極薄Ni-InGaAs合金コンタクトの形成とその熱的安定性 (シリコン材料・デバイス)

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概要

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• 2012-06-21

著者

• 入沢 寿史

  半導体MIRAI-ASET

• 手塚 勉

  半導体MIRAI-ASET

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