SiとTi表面での極薄酸化膜形成のリアルタイム表面分析 (特集 酸化物表面分析における最近の展開)
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概要
著者
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小川 修一
東北大学多元物質科学研究所
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高桑 雄二
東北大学多元物質科学研究所
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小川 修一
東北大学 多元物質科学研究所
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高桑 雄二
東北大学 多元物質科学研究所
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石塚 眞治
秋田工業高等専門学校 物質工学科
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