プラズマプロセス : 低温プラズマによる薄膜合成と表面改質
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概要
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Plasma processing including ion processing is reviewed. The advantage of plasma processing, compared with usual thermal processing, is described.In the plasma processing, the plasma-surface interaction for thin film formation is addressed as a key issue.As the example of plasma processing, carbonization experiments based on plasma CVD and nitridation experiments using ECR plasma are briefly introduced.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
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