スパッタ窒化膜の組成とプラズマ発光強度との関係
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概要
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- 1995-09-20
著者
-
花田 和明
核融合科学研究所
-
久保 和也
北海道大学工学部
-
日野 友明
北海道大学大学院工学研究科
-
広畑 優子
北海道大学大学院工学研究科
-
山科 俊郎
北海道大学工学部
-
相原 育貴
北海道大学工学部
-
日野 友明
北海道大学
-
相原 育貴
北海道大学工学部量子エネルギー専攻プラズマ真空工学分野
-
山科 俊郎
北海道大学
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