第2章 プラズマ装置の真空工学(<講座> プラズマ装置の真空工学 : 排気技術I)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Vacuum pumping systems, vacuum gauges and vacuum state with different degrees are reviewed. In addition, typical pumping systems and vacuum gauges used in plasma devices, e.g., fusion devices, plasma CVD devices and sputtering devices, are introduced. Techniques to examine vacuum engineering properties, e.g., gas desorption and effective surface area, are also briefly explained.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1995-07-25
著者
関連論文
- 23aB24P ブランケット第一壁用バナジウム合金のヘリウム保持・脱離挙動(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 25aB15P バナジウム合金の重水素イオン照射による重水素保持量(真空・第一壁・材料,炉設計)
- JT-60UにおけるW型ダイバータタイル中の軽水素および重水素蓄積挙動と損耗・再堆積分布
- 23aB07P JT-60Uで重水素放電に曝された炭素タイル中水素同位体蓄積量評価(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 23aB04P JT-60U内側ダイバータにおける水素同位体および再堆積層分布(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 25aB01P JT-60開放型ダイバータで軽水素放電に曝された黒鉛タイルからの水素熱放出(真空・第一壁・材料,炉設計)
- 25aB05P LHD内壁材料の水素およびヘリウムの保持・脱離特性 : グロー放電装置による模擬実験(真空・第一壁・材料,炉設計)
- 26aB02P LHD対向壁のガス挙動の解明に向けたグロー放電実験(真空・第一壁・材料)
- 24aA24P JFT-2Mにおける先進材料プラズマ適合性試験結果(トカマク, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 23aB32P 電子ビーム蒸着で作製したボロン・タイテニアム膜の燃料水素リテンション(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 23aB29P LHDボロン化第一壁のマテリアルプローブ分析(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 23aB01 LHDプラズマ対向表面のマテリアルフプローブ解析(真空・第一壁, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- スパッタ法による窒化シリコン膜の作製(III) : プラズマ発光分析
- スパッタ法による窒化シリコン膜の作製(II) : 膜の構造特性
- スパッタ法による窒化シリコン膜の作製
- 23aB03P JT-60Uダイバータ領域の再堆積層における水素同位体深さ方向分布(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 24aB13P 斜めArイオン入射による多結晶銅の平滑化(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 24aB05P ヘリウムイオン照射によるシリコンのブリスター形成(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 23aB30P ボロンタイテニアムの重水素保持・脱離挙動(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 反応性スパッタ法による高硬度窒化炭素膜(CN_X)の作製
- 27pA36P 反応性スパッタ法による高硬度窒化炭素膜(CN_X)の作製(プラズマ基礎・応用)
- 電子サイクロトロン共鳴窒素プラズマに対する希ガス添加効果
- スパッタ窒化膜の組成とプラズマ発光強度との関係
- 23aB19P SiC/SiC複合材料の熱サイクルによるヘリウムガス透過率変化(真空・第一壁・材料, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- S701 炉内黒鉛壁材料への蓄積挙動(核融合炉環境におけるトリチウム挙動とリサイクル技術, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 25aB14P 核融合炉ブランケット用SiC/SiC複合材のヘリウムガス透過率測定((真空・第一壁・材料,炉設計)
- 25aB13P JFT-2Mの重水素放電に曝されたボロン化フェライト鋼の表面不純物と重水素保持量(真空・第一壁・材料,炉設計)
- 25aB12P タングステン粉末の重水素吸収特性(真空・第一壁・材料,炉設計)
- 26aB21P 低放射化バナジウム合金(V-4Cr-4Ti)の重水素イオン照射による重水素保持特性(真空・第一壁・材料)
- プラズマプロセスによるSiの表面窒化
- プラズマプロセスによるシリコンの表面窒化
- カーボン・タングステン混合材料の重水素リテンション
- ボロン混合/被覆炭素系材料のガス放出特性
- ボロニゼーション実験及びボロン膜の表面特性
- 酸素/ヘリウムグロー放電によるシリコンの表面酸化とバブル生成
- 27pA35P 酸素・ヘリウムグロー放電によるシリコンの表面酸化とバブル生成(プラズマ基礎・応用)
- 26aB01P 表面プローブによるLHDプラズマ壁相互作用の解析(真空・第一壁・材料)
- 大型ヘリカル装置(LHD)のマテリアルプローブの堆積不純物分析 : 黒鉛ダイバータ設置による影響
- 29pA07P LHD第3サイクル実験時のマテリアルプローブ分析(加熱/炉設計)
- 26aB19P 低放射化フェライト鋼の重水素リテンションと物理スパッタリング(真空・第一壁・材料)
- ヘリウムイオンによる多結晶銅のスパッタリング
- 低放射化真空容器材料Ti-6Al-4V合金の水素吸収および脱離特性評価
- タングステン被覆黒鉛のガス放出特性
- 表面を酸化したボロン膜の水素リテンション特性
- ジボラン放電により作製したボロン膜の酸素ゲッタリング特性
- 大型ヘリカル装置用ダイバータ試験体の電子ビーム熱負荷試験
- 核融合炉・真空容器内外の冷却材喪失事故(LOCA)の制御 :真空容器内のLOCAによる圧力上昇の数値計算
- ブラウン管用内装塗布材料のガス放出吸着特性
- 核融合炉ブランケット用バナジウム合金の水素吸収の低減
- 核融合炉ブランケット用SiC/SiC複合材のガス透過特性
- 29pA21P 円筒状SiC/SiCブランケット材のガス透過特性(加熱/炉設計)
- 29pA02P チタン酸化膜による第一壁用バナジウム合金の水素吸収抑制(加熱/炉設計)
- 重水素の電子衝撃脱離収率のエネルギー依存性
- ブラウン管用内装黒鉛のガス脱離特性 - 大気中ベーキング後の放置環境の影響 -
- カーボンダストの重水素保持特性(II) - 結晶構造と形状の影響 -
- イオン照射によるポーラスシリコン発光特性の変化
- SiC/SiC複合材の重水素リテンション
- 29pB14P LHD第一壁表面試料による堆積不純物の分析(ヘリカル2/慣性核融合/新概念)
- 29pA27P カーボンダストの重水素吸収特性(II) : 重水素吸収量に及ぼす結晶性状の影響(プラズマ壁相互作用・材料/電源・マグネット)
- 26pB15p シリコン系材料のブリスター生成と***ージョン(ヘリカル/プラズマ応用)
- 25pB22p 酸素グロー放電によるシリコンの表面酸化(ヘリカル/プラズマ応用)
- 窒素プラズマに対する水素添加効果
- モリブデンの水素及び重水素リテンション特性
- リチウム膜の水素リテンション特性
- 核融合炉用プラズマ対向材料としてのタングステンの水素リテンション特性
- 8.プラズマ対向材料の水素リテンション特性(熱粒子制御のためのプラズマ対向壁工学)
- カーボンダストの重水素保持特性
- 26pA20p カーボンダストの重水素インベントリー(プラズマ基礎/壁相互作用)
- ブラウン管用内装塗布材料のガス脱離・吸着特性-黒鉛-ニ酸化チタン-水ガラス系を中心として-
- ブラウン管用内装塗布材料のガス放出・吸着特性-黒鉛-酸化鉄-水ガラス系を中心として-
- ブラウン管用内装塗布材料のガス放出・吸着特性(III)
- リチウムのガスゲッタリング特性
- プラズマ対向壁用ボロン膜のプラズマ表面相互作用の評価 : 酸素ゲッタリング特性および水素リテンション特性
- 26pB5 LHD第一壁表面試料の堆積元素分析(計測/壁相互作用)
- JFT-2Mトカマク装置の放電にさらされたバナジウム合金の水素捕捉
- 26pB7 JFT-2M放電下でのバナジウム合金の水素捕捉(計測/壁相互作用)
- 大型ヘリカル装置(Large Helical Device)プラズマ対向壁の壁洗浄効果
- 29pA22P 低放射化バナジウム合金の水素捕捉(II) : 表面酸化膜の影響(プラズマ壁相互作用・材料/電源・マグネット)
- 低放射化真空容器材料Ti-6Al-4V合金の水素吸収および脱離特性評価
- プラズマ振動の励起による電子密度の磁気プローブ計測
- グロー放電下のリチウムの水素捕捉と再活性化
- 26pB22p CN_X膜の作製と表面特性評価(ヘリカル/プラズマ応用)
- 26pB14p プラズマ振動励起による電子プラズマ密度計測(ヘリカル/プラズマ応用)
- ヘリウムプラズマ照射下における基板近傍のヘリウム原子励起温度測定
- 核融合炉ダイバータ用炭素繊維強化複合材/無酸素銅接合材のガス放出特性
- 低放射化Ti-6Al-4V合金材料の表面酸化による水素吸収の抑制
- 第2章 プラズマ装置の真空工学( プラズマ装置の真空工学 : 排気技術I)
- 02aB12P グロープラズマ照射によるシリコンゴム表面の親水化(プラズマ応用)
- 30pB11P SiC/SiC複合材料の酸化後のヘリウムガス透過率測定(真空・第一壁・材料)
- 28pB04 JT-60U内における黒鉛タイル中の水素同位体蓄積(真空・第一壁・材料)
- 01aC01 JT-60UにおけるW型ダイバータタイル中の水素および重水素分布と損耗・再堆積分布(真空・第一壁・材料)
- 29aB07P JT-60U黒鉛タイルの水素同位体蓄積挙動(真空・第一壁・材料)
- 30pB25P ブランケット増殖材,Li_2Ti0_3の重水素保持説離挙動(真空・第一壁・材料)
- 30pB09P アーク放電で作製したカーボンダストの水素およびヘリウムリテンション(真空・第一壁・材料)
- 30pB05P 表面損傷を与えた低放射化フェライト鋼の燃料水素リテンション(真空・第一壁・材料)
- 30pB20P マテリアルプローブによるLHDプラズマ壁相互作用の解析(真空・第一壁・材料)
- 29aB04P アルゴングロー放電によるステンレス鋼からのガスの脱離挙動(真空・第一壁・材料)
- 29aB03P マテリアルプローブによるLHDボロン化第一壁の分析(真空・第一壁・材料)
- 29aB02P 核融合装置第一壁用ボロン・タイテニアムの燃料水素保持・脱離挙動(真空・第一壁・材料)
- 30pB17P 酸素グロー放電によるステンレス鋼内壁の炭素不純物低減(真空・第一壁・材料)