27pA35P 酸素・ヘリウムグロー放電によるシリコンの表面酸化とバブル生成(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2000-11-20
著者
-
花田 和明
核融合科学研究所
-
広畑 優子
北大院工
-
山内 有二
北大院工
-
日野 友明
北大院工
-
日野 友明
北大工
-
西川 正名
サイエンスソリューションズ (株)
-
山内 有二
北大工
-
山内 有二
北海道大学大学院工学研究科
-
美保 諭志
北海道大学工学研究科量子エネルギー工学
-
廣畑 優子
北大
-
美保 諭志
北大院工
-
西川 正名
サイエンスソリューションズ株式会社
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