25pB22p 酸素グロー放電によるシリコンの表面酸化(ヘリカル/プラズマ応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1999-11-20
著者
-
花田 和明
核融合科学研究所
-
山内 有二
北大院工
-
広畑 優子
北大工
-
日野 友明
北大工
-
西川 正名
サイエンスソリューションズ (株)
-
山内 有二
北大工
-
山内 有二
北海道大学大学院工学研究科
-
美保 輸志
北大工
-
西川 正名
サイエンスソリューションズ株式会社
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