電子サイクロトロン共鳴窒素プラズマに対する希ガス添加効果

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1997-08-20

著者

• 花田 和明

  核融合科学研究所

• 久保 和也

  北海道大学工学部

• 日野 友明

  北海道大学大学院工学研究科

• 柳原 英人

  北海道大学工学部

• 広畑 優子

  北海道大学大学院工学研究科

• 日野 友明

  北海道大学

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