チタン表面の窒化過程と窒化層のdepth profile
スポンサーリンク
概要
著者
-
矢部 勝昌
北海道工業技術研究所
-
橋場 正男
北海道大学工学部
-
山科 俊郎
北海道大学工学部
-
渡辺 国昭
北海道大学工学部原子工学科
-
佐藤 和彦
北海道大学工学部原子工学科
-
山科 俊郎
北海道大学
-
矢部 勝昌
北海道工業開発試験場
関連論文
- メカノフュージョン法によるMo-Al_2O_3粒子の作製とそれに及ぼす装置内真空の影響
- 反応性スパッタリングによるアルミニウム窒化物薄膜の作製と構造
- スパッタ法による窒化シリコン膜の作製(III) : プラズマ発光分析
- スパッタ法による窒化シリコン膜の作製(II) : 膜の構造特性
- スパッタ法による窒化シリコン膜の作製
- 4a-G-9 ヘリオトロンEにおける周辺プラズマのふるまい II
- 3p-RB-7 ヘリオトロンE装置におけるプラズマ壁相互作用の研究(II)
- 11p-DG-2 ヘリオトロンE装置におけるプラズマ壁相互作用の研究
- スパイクタイヤ車粉塵の精密分析（第二報）
- スパイクタイヤ車粉塵の精密分析（第一報）
- 31p-W-8 JIPPT-IIにおけるSCRAPE-LAYERの不純物輸送過程
- 2a-NW-10 JIPP-IIにおける壁表面への不純物堆積
- 「核融合第一壁とプラズマとの相互作用に関する研究会」報告書
- SIMS-FDS-AES複合装置によるニッケル清浄表面でのギ酸の吸着分解反応の研究
- 4a-TG-12 イオウKa線の化学シフト有効電荷
- ダイバータ配位とリミター配位におけるヘリウム選択排気金属の排気効率の比較
- スパッタ窒化膜の組成とプラズマ発光強度との関係
- プラズマプロセスによるSiの表面窒化
- プラズマプロセスによるシリコンの表面窒化
- ボロン混合/被覆炭素系材料のガス放出特性
- ボロン混合黒鉛の熱負荷試験
- ボロニゼーション実験及びボロン膜の表面特性
- 脱ガス処理を施した清浄化ステンレス鋼製真空容器の排気特性
- フラッシュ脱離(FD)法の極高真空計測への応用
- 大型ヘリカル装置(LHD)のマテリアルプローブの堆積不純物分析 : 黒鉛ダイバータ設置による影響
- B_4C転化材および黒鉛の水素リテンション特性
- JT-60黒鉛ダイバータ板の表面特性
- ニッケルのヘリウムイオン・リテンション
- ステンレス鋼の水分脱離特性に及ぼす表面状態の影響
- プラズマ輸送現象に及ぼす非等方圧力効果の粒子コード解析
- プラズマ輸送現象に及ぼす非等方圧力効果の運動論的考察
- ESCAによるGaAs酸化膜のin-deph profileの研究
- 清浄Cu-Ni合金の表面組成とIn-depth Profile --AESによる測定 (触媒討論会特集号)
- Auger電子分光法によるCu-Ni合金清浄表面の定量分析-表面偏析とIn-depth Profile
- Si-O-C系セラミックス繊維の合成
- 銅基板の表面粗さ係数(SRF)を用いたフォトレジストの接着強度評価
- ジボラン放電により作製したボロン膜の酸素ゲッタリング特性
- 大型ヘリカル装置用ダイバータ試験体の電子ビーム熱負荷試験
- ECR窒素プラズマによるアルミニウムの表面窒化
- プラズマプロセス--低温プラズマによる薄膜合成と表面改質
- 真空をはかる技術
- いま地方に育つ真空技術産業-函館新技術開発サロン-
- 核融合炉・真空容器内外の冷却材喪失事故(LOCA)の制御 :真空容器内のLOCAによる圧力上昇の数値計算
- プラズマ対向材料中に保持されている水素に対するコンディショニング
- ブラウン管用内装塗布材料のガス放出吸着特性
- 真空容器材料としてのアルミニウム合金からの水素脱離挙動
- 8. PFC/PSI研究の今後の課題と展望( プラズマ閉じ込め性能向上のためのプラズマ対向機器(PFC)開発およびプラズマ表面相互作用(PSI)研究の現状)
- マグネトロンスパッタ法によるTiN膜の作製とプラズマ発光分析
- 核融合炉・真空容器内外の冷却材喪失事故シナリオ
- 核融合炉ダイバータ用炭素繊維複合材/銅接合材のガス放出特性
- ブラウン管用内装黒鉛材料のガス放出特性
- 基礎科学者の実学への挑戦
- ボロン混合黒鉛のプラズマ対向材料としての適合性
- 核融合炉ブランケット用SiC/SiC複合材のガス透過特性
- ブラウン管用内装黒鉛のガス脱離特性 - 大気中ベーキング後の放置環境の影響 -
- ブラウン管用内装塗布材料のガス脱離・吸着特性-黒鉛-ニ酸化チタン-水ガラス系を中心として-
- ブラウン管用内装塗布材料のガス放出・吸着特性-黒鉛-酸化鉄-水ガラス系を中心として-
- ブラウン管用内装塗布材料のガス放出・吸着特性(III)
- リチウムのガスゲッタリング特性
- ブラウン管用内装黒鉛材料のガス放出特性
- アルミニウム合金の表面特性とガス放出特性（II） : 2017アルミニウム合金のガス放出に及ぼす表面処理の影響
- アルミニウム合金の表面特性とガス放出特性（I） : 6063アルミニウム合金からのガス放出に及ぼす表面処理の影響
- 黒鉛の核融合第一壁材料としての特性評価
- 膜形成プロセスの原理と基礎 (フォーラム「膜形成プロセスとその応用」)
- JIPP T-IIU 装置での第一壁カーボンコーティング (Carbonization) の評価
- 酸化物含有焼結鉄圧延板の機械的性質
- スピニングロータ真空計の圧力測定限界
- プラズマ対向壁用ボロン膜のプラズマ表面相互作用の評価 : 酸素ゲッタリング特性および水素リテンション特性
- サマリー・アブストラクト
- 低放射化真空容器材料Ti-6Al-4V合金の水素吸収および脱離特性評価
- 耐熱性高分子材料の加熱による気体放出特性と構造変化
- RFスパッタリングによるTiN coating膜の作製とキャラクタライゼ-ション (「低Zコ-ティング膜のキャラクタライゼ-ションワ-クショップ」「プラズマ・壁相互作用に関する研究会」報告) -- (被覆,接合技術と被覆材料の特性)
- TiC及びSiC単結晶表面の偏析と選択スパッタリング
- スパッタ法により作製されたケイ素-炭素-窒素薄膜の表面分析
- X線光電子分光法による窒化チタン薄膜の定量分析
- X線光電子分光法による深さ方向の定量的状態分析とそのSic表面への応用
- JIPP T-IIにおける真空壁とプラズマの相互作用
- 核融合装置開発における表面分析機器の役割りと応用
- アルミニウム合金 (6063) 表面の特性と脱ガス挙動
- 各種第一壁材料 (LowZ) に打込まれた高エネルギーイオンの再放出過程
- AES-IMA複合装置による核融合第1壁材料としてのシリコンカーバイドの表面特性評価
- ECRプラズマによる炭素コーティングII
- Ti-Mo界面における相互拡散過程
- Cr酸化膜被覆ステンレス鋼の真空工学特性
- 各種黒鉛および金属混合黒鉛の高温酸化特性
- 水素およびメタンに対するバリウムゲッターの排気特性
- 表面粗さのオージェプロファイルへの影響
- Co-Cr合金清浄表面の加熱による組成変化
- マスフィルタ-スパッタイオンポンプ系における質量スペクトルの定量的測定
- アブストラクト
- アブストラクト
- チタン表面の窒化過程と窒化層のdepth profile
- 炭素過剰炭化チタン膜の耐食機能
- マグネトロンスパッタリングによる炭素過剰TiC_x膜の合成と構造評価
- 窒化チタンの表面分析 : アルゴンイオン照射に伴う表面変質の影響
- 416 酸化物 (SiO_2, Al_2O_3) を混合した焼結鉄圧延板の機械的性質について(表面処理・工具鋼・非磁性鋼, 性質, 日本鉄鋼協会第 94 回(秋季)講演大会)
- マスフィルタのパタン係数の安定性
- 高周波スパッタリング法によるTiCコ-ティング膜の作製-2- (第22回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 熱拡散法によるステンレス鋼へのTiNコ-ティング(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 高周波スパッタリング法によるTiCコ-ティング膜の作製 (第21回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)