RFスパッタリングによるTiN coating膜の作製とキャラクタライゼ-ション (「低Zコ-ティング膜のキャラクタライゼ-ションワ-クショップ」「プラズマ・壁相互作用に関する研究会」報告) -- (被覆,接合技術と被覆材料の特性)
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