反応性スパッタリングによるチタンの酸化物および窒化物薄膜の作製
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概要
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種々の<I>P</I><SUB>02</SUB>, <I>P</I><I><SUB>N</SUB></I><SUB>2</SUB>でチタンの反応性スパッタリングを行ない膜の析出速度, 比抵抗, 結晶構造, 化学組成などがどのような影響を受けるかを調べた.<BR>(1) 反応気体が酸素, 窒素どちらかの場合でも析出速度はある限界活性気体分圧から急激に低下し, 特にTi-N<SUB>2</SUB>系では限界分圧が二種類存在した.<BR>(2) 膜の結晶構造に<I>P</I><SUB>02</SUB>, <I>P</I><I><SUB>N</SUB></I><SUB>2</SUB>砲が多大な影響を及ぼした.<BR>(3) Ti-N<SUB>2</SUB>系については膜中に取り込まれた窒素原子は, ほぼ均一に分布していた.<BR>本研究における数値計算には北海道大学大型計算センター, FACOM230-60を使用したことを付記する.
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