高周波スパッタリング法によるTiCコ-ティング膜の作製 (第21回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
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概要
著者
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広畑 優子
北海道大学大学院工学研究科
-
矢部 勝昌
北海道工業技術研究所
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会田 比呂史
北海道大学工学部原子工学科
-
小畑 龍夫
北海道大学工学部原子工学科
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山科 俊郎
北海道大学
-
毛利 衛
北海道大学工学科
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