VS-1の電極変位と感度との相関
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概要
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Secondary standard ionization gauges (VS-1) have been calibrated by using the primary standard McLeod gauge at ETL for about twenty years. The average value of the sensitivities is 0.137 Pa<SUP>-1</SUP>. About 85% of the gauges have sensitivities with less than ± 10% deviation from the average. It was confirmed by the X- ray photograph of the gauge and the experiment of a nude type gauge with movable electrodes that the spread of the sensitivities are mainly caused by the electrode displacement. It is also discussed that the technical problems connected with the use of the gauge as a transfer gauge for the international comparison of vacuum standards.
- 日本真空協会の論文
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