スピニングロ-タ-真空計の起動時オフセット圧力変動の解析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Just after starting the operation of a spinning rotor gauge at pressure less than 2 × 10<SUP>-6</SUP> Pa (nitrogen equivalent), its offset pressure changed by 3 × 10<SUP>-5</SUP> Pa from its final value. A simulation using a personal computer, based on a heat exchange by radiation between a rotor and a rotor tube of the gauge, is carried out to reveal the change in the offset pressure. The result of the simulation showed a good agreement with the time chart of the offset pressure measured experimentally. Influence of parameters, such as linear expansion coefficient, density, specific heat, emissivity of the rotor etc., on the time variation is also studied by the simulation.
- 日本真空協会の論文
著者
関連論文
- 6a-T-10 有機物質のSTM測定(IV)
- 3a-W-9 リボソーム膜レプリカ微細構造のSTM観察像
- 3a-B4-10 有機物質のSTM測定(III)
- 3a-B4-2 トンネル顕微鏡用探針
- 3a-B4-9 STM/STSによる4Hb-TaS2とGICの電子状態解析
- 3a-B4-5 UHV-STMによるSi表面の観察(III)
- C-11 走査型トンネル顕微鏡用圧電セラミックス微動機構(圧電材料・振動子)
- 電界イオン顕微鏡を装備した超高真空走査型トンネル顕微鏡の試作とSi(001)表面へのAl吸着初期過程の観察
- 4F202 STMによる液晶観察
- 24a-PS-22 有機物質のSTM測定(VII)
- 5a-PS-8 有機物質のSTM測定(VI)
- 31p-Z-6 Bi系酸化物超伝導体のSTM/TS測定 (II)
- 2a-T-9 有機物質のSTM測定 (IV)
- STMによる有機物の研究
- 5a-ZA-12 Bi_2Sr_2CaCu_2O_8におけるBiO面のSTM/TS測定
- STM開発の展望(STM開発の現状と展望)
- 27a-P-10 有機物質のSTM測定(1)
- 27a-P-8 "4Hb-TaS_2のCDW'SにおけるSTM像の電圧依存性"
- 27a-P-7 UHV-STMによるSi清浄表面の観察
- 走査型トンネル顕微鏡の探針微動機構(固体アクチュエータ)
- 28a-D-4 STMによる2Ha-NbSe_2の原子像観察
- 走査型トンネル顕微鏡による原子像と電子状態
- 28a-D-3 原子像観察のためのSTM装置
- レーザーイオン化による極高真空計測-分子密度計測の可能性-
- 極高真空におけるアトムカウンティング技術
- ピコ秒レーザによるガスイオン化特性と真空計測
- 極高真空装置の残留ガス特性 (活性粒子による新表層材料創製の研究)
- 極高真空のための新計測技術
- 30p-R-8 非共鳴多光子イオン化におけるレーザ波長効果
- 30p-R-8 非共鳴多光子イオン化におけるレーザ波長効果
- 〔工業技術院電子技術総合研究所〕研究設備紹介-17-レ-ザによる圧力計測のための極高真空装置
- レ-ザを用いた圧力計測-2-レ-ザ生成イオンの新しい検出システム
- レ-ザを用いた圧力計測-1-各種気体のレ-ザ・イオン化特性
- レーザによる極高真空計測の高感度化
- レーザ生成イオンの飛行時間型質量分析における検出効率の質量依存性
- 277 粒界偏析 P 量におよぼす Ni, Mo の影響 : Auger 分析による焼戻脆化現象の考察 II(靱性・破壊, 性質, 日本鉄鋼協会第 88 回(秋季)講演大会)
- 290 粒界偏析 P 量と焼戻脆化度 : Auger 分析による焼戻脆化現象の考察 I(焼戻脆性・高張力鋼, 性質, 日本鉄鋼協会 第 87 回(春季)講演大会)
- 極高真空用材料の真空特性
- 走査型トンネル顕微鏡について
- 超高真空技術の現状について (フォーラム「超高真空装置に関する技術の現状と将来」)
- 真空を測る : 真空をつくって,測る
- STM 開発の最前線をたずねて(精密工学の最前線)
- 圧力計測・校正用極高真空装置の試作とそのガス放出特性
- 5a-TA-7 水晶振動子共振周波数の圧力依存性
- 3p-KB-5 水晶摩擦真空計と気体粘性 : 粘性率測定への応用
- LEED, LEESによるFe表面状態の解析(I) : 表面物理, 薄膜
- 電離真空計における負コレクタ電流の研究(V)ベーキング条件の影響
- 電離真空計における負コレクタ電流の研究II正常ゲージと異常ゲージの比較
- 電離真空計における負コレクタ電流の研究I温度による影響
- 極高真空計測における電極絶縁性の問題
- 水晶振動子を用いた小型真空センサ-
- 走査型トンネル顕微鏡と関連技術
- SPMによる極微細計測の展望
- STMとAFMの現状と動向
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- アブストラクト
- レーザを用いた圧力計測 : 2.レーザ生成イオンの新しい検出システム
- レーザを用いた圧力計測 : 1.各種気体のレーザ・イオン化特性
- アブストラクト
- 超高真空装置に用いたステンレス鋼の特性
- レーザ・イオン化法による圧力計測のための極高真空装置の試作
- レーザによる粒子計測 (4)
- 水晶摩擦真空計と粘性真空計の理論
- 水晶振動子を用いた摩擦真空計の理論
- アブストラクト
- アブストラクト
- アブストラクト
- 真空標準の国際比較の実験
- 紙と鉛筆の代用 (パソコン利用法(技術ノ-ト))
- 真空度の標準 (真空度測定(技術ノ-ト))
- ターボ分子ポンプ付スペースチャンバの試作
- 真空技術の極限(4.純度)(極限へのアプローチ)
- 4.3.1 宇宙工場(4. 未来はどうなる)(4.3 新分野はまねく)
- アブストラクト
- 第30回 Physical Electronics Conference に出席して
- 真空度標準の現状
- アブストラクト
- ロケット飛行中に融製したNi-Mo-TiC合金中の諸元素の動き
- スピニングロ-タ-真空計の起動時オフセット圧力変動の解析
- ナノメ-トル実験の世界--広がる走査型トンネル顕微鏡の応用
- 走査型トンネル顕微鏡 (機能を見る顕微鏡)
- STM(走査型トンネル顕微鏡)とはどういうものか--誰にでもわかるSTM Q&A (STMの進歩)
- 走査型トンネル顕微鏡(STM)による表面状態測定 (表面の物理化学)
- STMによるスペクトロメトリの現状 (STMの固体表面観察への応用と展望)
- 超高真空における計測 (極限環境における計測)
- 極限環境における計測 (極限環境における計測)
- 走査型トンネル顕微鏡
- オ-ジェ電子分光法とそれによる固体表面の研究
- オージェ電子分光関連文献一覧 (オージェ電子分光-2-(特集))
- 水晶摩擦真空計の試作 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)
- VS-1の電極変位と感度との相関
- スピニングロ-タ真空計動作条件の測定精度への影響
- 表面の研究と真空技術(真空の科学と技術) (わが国における真空の科学と技術の歩み(30巻記念特集号)) -- (わが国の真空科学・技術の歴史的発展をたどる)
- LEED-AES装置用球面グリッドの製作(寄書) (オージェ電子分光(特集-1-))
- 逆電位型エネルギー分析器の特性 (オージェ電子分光-2-(特集))
- 28a-LB-2 走査型トンネル顕微鏡とその応用(生体物理シンポジウム)
- 29p-TC-10 Si(111)7x7表面への酸素吸着過程のSTM観察(29pTC 表面・界面)