接点内を流れる電流の可視化および薄膜が集中抵抗に与える影響(機構デバイスの信頼性,信頼性一般)

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概要

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電気接点内部における電流集中の挙動については、ラプラス方程式に基づく理論式や静電場解析による結果が報告されている。しかし、実際の電流集中の様子を観察した例は少ないため、本研究では接点内の電流集中挙動を、発光ダイオード用ウエハを用いることで観察を行った。その結果から、酸化被膜が介在した接点の場合、接触面積が小さい場合は、被膜抵抗支配となり電流は接触面全面に流れ、接触面積が大きくなると、集中抵抗支配となり接触面の外周部分に主に電流が流れることが得られた。更に、接触抵抗測定結果および電場解析の結果により、基材の厚みが薄くなると集中抵抗は増大し、加えて、電極位置によっても接触抵抗が変化することが明らかとたった。
一般社団法人電子情報通信学会の論文
2013-02-08

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