波長可変面発光レーザとスローライト光増幅器の平面集積構造の検討(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般)
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概要
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マイクロマシン面発光レーザ(MEMS VCSEL)の単一モード出力の増大と新機能創出を目標として,Bragg反射鏡導波路に基づくスローライトSOAとMEMS VCSELの平面集積構造を提案した.解析により,980nm帯における40nmの波長掃引幅と共に,50μmのSOAを集積することで10mW以上のシングルモード出力を得られる可能性を示した.その集積構造のための初期実験として,熱駆動型のマイクロマシン反射鏡を集積したMEMS VCSELを作製し,反射鏡に集積した微小ヒータによる電気的な加熱により,170mWの加熱電力で35nmの波長掃引幅を得た.また,同様な構造によるオンチップビーム掃引機能についても議論する.
- 2012-08-16
著者
-
坂口 孝浩
東京工業大学精密工学研究所
-
佐野 勇人
東京工業大学精密工学研究所
-
小山 二三夫
東工大精研
-
島田 敏和
東京工業大学精密工学研究所
-
顧 暁冬
東京工業大学精密工学研究所
-
島田 敏和
東京工業大学 精密工学研究所
-
顧 暁冬
東工大精研
-
中濱 正統
東工大精研
-
佐野 勇人
東工大精研
-
島田 敏和
東工大精研
-
坂口 孝浩
東工大精研
-
松谷 晃宏
東工大精研
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