26pCL-4 HF-CVD反応におけるAl粒子の構造評価(26pCL 格子欠陥・ナノ構造・フォノン(金属・ナノ粒子・点欠陥・水素材料),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))

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概要

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• 2012-03-05

著者

• 橋本 巌

  東理大理

• 本間 芳和

  東理大理

• 加藤 大樹

  東理大理

• 石井 みき

  東理大理

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