B40 ガラス研磨加工における加工変質層評価(OS10 研磨技術(2))
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概要
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In machining process of glass component, some extent of residual stress is necessarily introduced in the component. The affected layer influences the profile accuracy of the component. However, it is difficult to measure thickness of affected layer on amorphous material. In this paper, we propose new method to evaluate thickness of the affected layer on glass surface. The proposed method is based on deformation of material according to removal of material surface. In order to verify applicability of the proposed method, we measure residual stress of soda-lime grass and BK7. As a result, we found condition for the stable etching of soda-lime glass and BK7. And the proposed method was applied to glass material, and thickness of residual stress layer was evaluated.
- 2010-11-19
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