115 単発放電による瞬時成形プローブを用いた形状計測
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概要
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In single discharge machining of a 0.1mm tungsten electrode with 30 to 50A discharge current and several hundreds of microseconds duration, a needle of 25 to 35μm in diameter has been made instantaneously. This new phenomenon is applicable to making very thin axis on the machine. Using a rapid formed thin axis, micro drilling could be performed on the machine. The formed thin axis tip radius is less than 200nm. In this report, the rapid formed thin axis was tried for measurement probe. Using the electrical discharge machine, the workpiece shape could be measured in error ±2μm. Using piezoelectric elements, the unevenness of 200nm of the CD-ROM surface could be measured. The rapid formed thin axis can used the measurement probe.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-11-19
著者
-
武沢 英樹
工学院大学
-
堀尾 健一郎
埼玉大
-
堀尾 健一郎
埼玉大学
-
毛利 尚武
東京大学
-
毛利 尚武
東京大学大学院工学研究科
-
武沢 英樹
埼玉大学
-
浜松 啓明
東京大学
-
浜松 啓明
東京大学大学院
-
小久保 博高
埼玉大学
-
小久保 博高
埼玉大学大学院
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