424 ガラス系材料を用いたダイヤモンド薄膜研磨
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概要
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The aim of this study is smoothing the diamond film with high efficiency and low damage. The diamond film was polished with using glass materials and high speed polishing machine. In the process, pressure, revolution speed and slurry density were changed. After polishing, processing characteristics were examined the diamond film surface were evaluated.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-11-20
著者
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