65nm CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの設計・開発(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
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概要
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CMOSプロセスのメタル配線層を利用したオンチップメタルグリッド偏光子を搭載した偏光計測イメージセンサにおいて,センササイズ小型化と画素ピッチ縮小による空間分解能向上を目指して,65nm標準CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの設計・試作を行った.本報告では偏光計測イメージセンサの設計と,65nmプロセスにおける偏光検出について述べる.
- 2010-07-22
著者
-
徳田 崇
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
太田 淳
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
野田 俊彦
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
笹川 清隆
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
宍戸 三四郎
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
太田 淳
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科:jst Crest
-
太田 淳
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
田 崇
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科:jst Crest
-
笹川 清隆
奈良先端科学技術大学院大学
-
笹川 清隆
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科:jst Crest
-
徳田 崇
大阪大学 大学院医学系研究科脳神経感覚器外科学(眼科学)講座
-
野田 俊彦
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科:jst Crest
-
田 崇
奈良先端科学技術大学院大学
-
野田 俊彦
奈良先端科学技術大学
-
太田 淳
奈良先端科学技術大学院大
-
笹川 清隆
奈良先端科学技術大学院大
-
宍戸 三四郎
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
徳田 崇
奈良先端科学技術大学院大学
-
笹川 清隆
奈良先端科学技術大学院大学, JST-CREST
-
笹川 清隆
奈良先端科学技術大学院大学:JST-CREST
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