C分子線源にアークプラズマガンを用いたGeC混晶のMBE成長
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
新しいC分子線源としてアークプラズマガンを分子線エピタキシー (MBE) に導入し、C分子線の特性とGe基板上に成長したGeCエピタキシャル膜の結晶性評価を行った。分子線の評価より、デバイス特性に悪影響を与える粒径がμm程度のマクロパーティクルは1mm^2に0〜1個以下であった。また、SiならびにGe基板上のC膜では界面付近でSi-C、Ge-C結合が優先的に生じており、アークプラズマガンがGeC泥晶成長のC分子線源として有効である事を確認した。Ge基板上のGeC成長においては、供給したC原子がほぼすべて混晶内に取り込まれ、アークプラズマガンの利用により、高いC組成をもつGeC混晶成長が可能である事を示した。
- 2001-05-18
著者
-
徳田 崇
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
太田 淳
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
布下 正宏
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
布下 正宏
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
沖仲 元毅
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
沖仲 元毅
理化学研究所ナノサイエンス研究技術開発・支援チーム
-
浜名 康全
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
-
浜名 康全
浜松ホトニクス株式会社
-
太田 淳
奈良先端科学技術大学院大
-
段床 亮一
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
段床 亮一
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科:(現)ソニー(株)
-
徳田 崇
奈良先端科学技術大学院大学
関連論文
- 脳深部機能計測用埋込型スマートCMOSイメージセンサ(高機能イメージセンシングとその応用)
- 65nm CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの設計・開発 (情報センシング)
- マウス脳深部神経活動in vivo計測用マルチファンクショナルCMOSイメージセンサの開発(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- パルス変調方式を用いた in vitro 脳神経系観察用バイオイメージセンサ
- バイオイメージング向けパルス変調方式高感度イメージセンサ
- 脳機能イメージングのためのマルチファンクショナルCMOSイメージセンサの開発(高機能イメージセンシングとその応用)
- 自由行動マウス脳深部蛍光観察用CMOSイメージセンサの開発 : デバイスの実装方法とin vivo蛍光測定系の検討(立体撮像,高精細撮像,特殊撮像,および一般)
- 光学的脳神経活動計測用CMOSイメージセンサの試作(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 標準CMOSプロセスを用いたμTAS向け偏光検出イメージセンサ
- 埋め込みワイヤグリッド構造を利用した偏光計測CMOSイメージセンサ(イメージセンサ一般(IISW報告会含む))
- 網膜下埋込み方式のための光制御機能を内蔵した分散型人工視覚デバイス(イメージセンサ一般(IISW報告会含む))
- 分散センサ・ネットワークによる人工視覚デバイス
- 分散センサ・ネットワークによる人工視覚デバイス(アナログ・ディジアナ・センサ,通信用LSI)
- 65nm CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの設計・開発(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- CMOS LSIを用いた人工視覚向けフレキシブル網膜刺激デバイスの開発
- 人工視覚を目指したCMOS LSI搭載フレキシブル網膜刺激デバイス
- 32×32画素キャパシティブフィードバックリセット型パルス周波数変調方式低電圧ビジョンチップの試作と評価
- 人工視覚デバイスに向けたパルス周波数変調方式低電圧ビジョンチップ(光波センシング,光波制御・検出,光計測,ニューロ,一般)
- パルス周波数変調方式に基づいた低電圧・低消費電力・高ダイナミックレンジイメージセンサ
- 32×32画素パルス周波数変調方式人工視覚イメージセンサ(イメージセンシング技術とその応用)
- パルズドメイン処理機能内蔵人工視覚用ビジョンチップ(企画セッション : ニューロハードウェア)
- パルスドメイン処理機能内蔵人工視覚用ビジョンチップ
- 1-bit画像処理機能をもつパルス周波数変調方式人工視覚デバイスの開発
- in vitro実験用32×32画素人工視覚再生イメージセンサの撮像評価とディジタル画像処理方式の検討
- C-12-17 32×32画素人工視覚再生用ディジタルCMOSイメージセンサ
- CMOSイメージセンサを用いた生体in-vivoイメージングの高コントラスト化(インタラクティブシステム・画像入力デバイス・方式,及び一般)
- 自由行動マウスの in vivo 脳神経イメージングデバイスの開発
- 埋込型CMOSイメージセンサを用いた脳内酵素発現の蛍光イメージング
- 65nm CMOSプロセスを用いた偏光計測イメージセンサの性能向上(携帯電話用カメラ,デジタルスチルカメラ,ビデオカメラ(ハイビジョン)とそのためのイメージセンサ,モジュール,特別企画「CCD誕生40周年記念講演-黎明期-」)
- CMOS技術による新しい埋め込み型バイオメディカルデバイス
- CMOSチップ搭載人工視覚デバイス用高性能刺激電極の作製
- 光学的脳神経活動計測用CMOSイメージセンサの試作(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 網膜下埋め込み型人工視覚プラットフォームに関する研究(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 網膜下埋め込み型人工視覚プラットフォームに関する研究(センサと応用,アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- MOSキャパシタを用いたPWMイメージセンサの基本特性評価(固体撮像技術および一般)
- 演算機能を有する網膜下埋め込み型人工視覚デバイス(高機能イメージセンサとその応用)
- 低電圧・低消費電力駆動ソース変調型パルス幅変調方式イメージセンサの研究(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 低電圧・低消費電力駆動ソース変調型パルス幅変調方式イメージセンサの研究(イメージセンサ,アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 脳深部機能計測用埋込型スマートCMOSイメージセンサ
- 電気化学計測機能を搭載したオンチップバイオセンシング用マルチファンクショナルCMOSイメージセンサ
- 電気化学計測機能を搭載したオンチップバイオセンシング用マルチファンクショナルCMOSイメージセンサ
- 受光機能搭載CMOSマルチチップ人工視覚デバイスによるウサギ網膜刺激
- C-14-16 電界カメラに向けた差動検出イメージセンサの設計(C-14.マイクロ波フォトニクス,一般セッション)
- 人工シナプスチップデバイスを目指した電気化学CMOSチップの開発(深い感性の喚起と情報センシング,高精細撮像,高感度及び一般)
- CMOS技術によるバイオメディカルフォトニックデバイス(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
- CMOS技術によるバイオメディカルフォトニックデバイス(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
- 偏光分析CMOSセンサ搭載マイクロチャンバデバイス
- CMOS LSI技術による埋め込み型生体センシング・インターフェース
- CMOSイメージセンサ技術をベースとしたバイオセンシング・バイオインターフェースチップ
- CMOS LSI技術を用いた人工視覚向けフレキシブル神経刺激デバイス
- 人工視覚向けLSI分散型電気刺激デバイス
- 埋込み型バイオイメージングセンサ
- 人工視覚向けディジタル方式ビジョンチップアーキテクチャの検討と基礎実験
- 人工視覚向けディジタル方式ビジョンチップアーキテクチャの検討と基礎実験(イメージセンサのインターフェース回路,アナログ,及び一般)
- パルス周波数変調方式ビジョンチップの低電圧駆動
- パルス周波数変調方式ビジョンチップの低電圧駆動
- 光を用いた脳活動計測用CMOSイメージングデバイスの開発
- 裏面キャリヤ注入を用いたCMOSイメージセンサへのアイセーフ光検出機能付加(イメージセンシング技術とその応用)
- SOI基板上SiGe/Siを用いて作製したマイクロオリガミ構造の評価(半導体Si及び関連材料・評価)
- 裏面ウェハ接合技術を利用した透過光検出型アイセーフ帯イメージセンサに関する検討
- GeC/SiへのC取り込みに対する低温成長とIBADの効果(III族窒化物研究の最前線)
- GeC/SiへのC取り込みに対する低温成長とIBADの効果(III族窒化物研究の最前線)
- GeC/SiへのC取り込みに対する低温成長とIBADの効果(III族窒化物研究の最前線)
- Si(001)およびGe(001)基板上Ge_C_x混晶の結晶学的・光学的特性
- Si(001)およびGe(001)基板上Ge_C_x混晶の結晶学的・光学的特性
- C分子線源にアークプラズマガンを用いたGeC混晶のMBE成長
- C分子線源にアークプラズマガンを用いたGeC混品のMBE成長
- C分子線源にアークプラズマガンを用いたGeC混晶のMBE成長
- BiCMOSプロセスを用いた発光素子集積型イメージセンサの基礎検討(イメージセンシング技術とその応用)
- BiCMOSプロセスを用いた発光素子集積型イメージセンサ
- BiCMOSプロセスを用いた発光素子集積型イメージセンサ(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)
- Si/SiO_2界面準位による画素内アナログ-デジタル変換4トランジスタCMOS画素回路の提案と試作
- アイセーフ帯パルス変調型ビジョンチップ
- パルス動作ビジョンチップの試作
- SiGe 系受光層を利用したイメージセンサの長波長受光機能付加
- 光を用いた脳活動計測用CMOSイメージングデバイスの開発
- マウス脳スライスを用いた電気生理実験のための光電位計測CMOSイメージセンサ
- 標準プロセスによる偏光分析CMOSイメージセンサの機能向上
- バイオチップ・バイオセンサ
- 偏光分析CMOSイメージセンサの高精度化とin situ不斉計測への応用(高機能イメージセンシングとその応用)
- ライトガイドアレイ構造による生体蛍光イメージングの高空間分解能化(高機能イメージセンシングとその応用)
- In-vivo脳神経蛍光イメージング用ライトガイドアレイ搭載CMOSイメージセンサ(光波センシング,光波制御・検出,光計測,ニューロ,一般)
- In-vivo脳神経蛍光イメージング用ライトガイドアレイ搭載CMOSイメージセンサ(光波センシング,光波制御・検出,光計測,ニューロ,一般)
- CMOSチップ搭載インテリジェント生体インタフェースデバイス
- 生体内埋植マイクロコミュニケータ : 超低侵襲生体・半導体インターフェイスデバイスを目指して(携帯電話用カメラ,デジタルスチルカメラ,ビデオカメラ(ハイビジョン)とそのためのイメージセンサ,モジュール)
- SiGe-BiCMOSプロセスによるイメージセンサの試作(半導体エレクトロニクス)
- SiGe-BiCMOSプロセスを適用したイメージセンサ
- 4-4 SiGe BiCMOS プロセスを用いたイメージセンサの試作
- オプトジェネティクス応用を目指したマルチファンクショナルCMOSイメージセンサ(2011 International Image Sensor Workshop(IISW)関連およびイメージセンサ一般)
- 脳深部構造のイメージングの試み
- Optogenetics 研究向けマイクロ光源搭載型CMOSイメージセンサ
- 広範囲脳機能イメージング用埋植型CMOSデバイスの開発
- CMOS技術を用いた生体埋め込み対応バイオデバイス
- ラット脳内複数領域計測用CMOSイメージングデバイス(高機能イメージセンシングとその応用)
- デジタル酵素結合免疫吸着法に向けたオンチップ蛍光計測システム(高機能イメージセンシングとその応用)
- 11-10 自由行動マウスの脳機能観察用CMOSイメージセンサ : 長期埋稙中の撮像安定化に向けた取組み(第11部門 情報センシング1)
- 11-6 光計測法を用いた脳機能活動のCMOSイメージセンサの研究(第11部門 センシング1)
- 17-3 埋込型CMOSイメージセンサによる脳内プロテアーゼ発現のin vivoイメージング(第17部門 情報センシング2)
- 13-7 in vivo脳神経イメージング用CMOSイメージングデバイスへの光源内蔵と低侵襲化(第13部門 情報センシング2)
- 脳深部刺激手術用 in situ イメージングプローブの開発