19aXJ-6 Ge表面スパッタリングにおける2価イオン生成過程に及ぼす酸素不純物の効果(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2007-02-28
著者
-
八木 伸也
名大院工
-
加藤 政彦
名大院工
-
曽田 一雄
名大院工
-
加藤 政彦
名古屋大学シンクロトロン光研究センター
-
曽田 一雄
名古屋大学シンクロトロン光研究センター
-
佐久間 靖博
名大院工
-
佐久間 靖博
名大エコトピア研
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