電子ビーム誘起堆積法を用いて作製したPtナノ結晶冷陰極からの縞状電子放出パターンの観測(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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電子ビーム誘起堆積法を用いて作製したPt冷陰極にアニール処理を施すことによって、先端に10nmのギャップをもつ冷陰極を作製した。作製したPt冷陰極の電子放射パターンを電界放射顕微鏡を用いて評価を行い、縞状の電子放出パターンを観測した。縞状の電子放出パターンは二つの方形開口からのフラウンホーファ回折モデルでの計算結果と良い一致を示した。これらの結果は、隣接2点から放射した電子波が干渉した可能性を示唆している。
- 2008-07-28
著者
-
村上 勝久
大阪大学極限量子科学研究センター
-
若家 富士夫
大阪大学極限量子科学研究センター
-
高井 幹夫
大阪大学極限量子科学研究センター
-
市川 聡
大阪大学ナノサイエンス・ナノテクノロジー研究推進機構
-
市川 聡
産業技術総合研究所
-
市川 聡
東京大学大学院新領域創成科学研究科
-
松原 直樹
大阪大学極限量子科学研究センター
-
西原 慎二
大阪大学極限量子科学研究センター
-
若家 冨士男
大阪大学極限量子科学研究センター
-
市川 聡
大阪大学ナノサイエンスデザイン教育研究センター
-
高井 幹夫
大阪大学極限科学研究センター
-
村上 勝久
筑波大学数理物質科学研究科:筑波大学学際物質科学研究センター
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