プラズマ雰囲気によるCNT電子源の特性改善(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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CNT冷陰極の表面をアルゴンプラズマに曝し、エミッション特性を測定した。冷陰極を、3分間、5分間アルゴンプラズマヘ曝したところエミッション特性が改善された。3分間のプラズマ処理でエミッション電流は、電界4.0V/μmで9.0 x 10^<-5> mA/cm^2から3.3 x 10^<-1> mA/cm^2になった。 またこのとき、ターンオン電界は3.3V/μmから1.7V/μmに下がった。 SEM画像から、プラズマ処理によりCNTの束がほぐれていることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-12-05
著者
-
村上 勝久
大阪大学極限量子科学研究センター
-
高井 幹夫
大阪大学極限量子科学研究センター
-
金澤 泰徳
大阪大学極限科学研究センター
-
尾山 毅
大阪大学極限科学研究センター
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高井 幹夫
大阪大学極限科学研究センター
-
村上 勝久
筑波大学数理物質科学研究科:筑波大学学際物質科学研究センター
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