電子ビーム誘起堆積三極構造Pt冷陰極からの縞状電子放出パターンの観測(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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低ゲート電圧で縞状電子放出パターンの強度制御を可能とするため、ゲート電極を加えた三極構造Pt冷陰極を電子ビーム誘起堆積法により作製した。10^<-7>Pa以下の超高真空中で室温にて三極構造Pt冷陰極の電界放出特性を測定した。30V以上のゲート電圧印加時のアノード及びカソード電流を観測し、FNプロットが直線であることから電界電子放出による電流であることが分かった。また、電子波干渉に起因する縞状の電子放出パターンを観測した。低ゲート電圧により、電子波干渉パターンの強度を制御することに成功した。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2012-11-12
著者
-
若家 富士夫
大阪大学極限量子科学研究センター
-
若家 冨士男
大阪大学極限量子科学研究センター
-
阿保 智
大阪大学極限科学研究センター
-
高井 幹夫
大阪大学極限科学研究センター
-
北山 智久
大阪大学極限量子科学研究センター
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