カーボンナノチューブ冷陰極へのレーザー照射効果(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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スクリーン印刷によって成膜した力¬ボンナノチューブ(CNT:Carbon Naontube)冷陰極に照射エネルギー密度とストライプステップを変えながらXeClエキシマレーザーを照射し、CNT冷陰極のエミッション特性改良を試みた。180×0.4mmストライプでストライプステップが0.4mmのレーザーを照射することによって均一なエミッションサイトの分布が得られた。照射パワー密度6MW/cm^2のレーザーを照射を行った場合、同値電界は1.2V/μm以下になり、3.2V/μmの電界で電界放出電流密度は2.0 mA/cm^2以上になった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-12-09
著者
-
村上 勝久
大阪大学極限量子科学研究センター
-
高井 幹夫
大阪大学極限量子科学研究センター
-
ROCHANACHIRAPAR Wasu
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
村上 勝久
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
山崎 直紀
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
本多 友明
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
阿保 智
大阪大学極限科学研究センター
-
若家 冨士夫
大阪大学極限科学研究センター
-
Rochanachirapar W.
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
高井 幹夫
大阪大学極限科学研究センター
-
村上 勝久
筑波大学数理物質科学研究科:筑波大学学際物質科学研究センター
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