C-10-8 電子線描画を用いたAlGaN/GaN HEMTにおけるオン抵抗の低減(C-10. 電子デバイス,一般セッション)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-03-05
著者
-
後藤 博一
サンケン電気株式会社技術本部先行技術開発統括部
-
後藤 博一
サンケン電気株式会社
-
古嶌 勝貴
電気通信大学
-
小泉 淳
電気通信大学
-
野崎 眞次
電気通信大学
-
内田 和男
電気通信大学
-
鹿内 洋志
サンケン電気株式会社
-
後藤 博一
サンケン電気
-
内田 和男
電通大
-
野崎 眞次
電気通信大学大学院情報理工学研究科
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