SiドープSiO2多層膜を用いた光共振器の作製とその光学的評価
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概要
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SiドープSiO_2薄膜を用いて作製したファブリ・ペロー型光共振器の光学的評価を行った。このデバイスは金属反射鏡(Au薄膜)、活性層(SiドープSiO_2薄膜)、多層膜反射鏡で構成されている。多層膜反射鏡はSiとSiO_2をRFスパッタ法で同時スパッタする際に、RFパワーの切り替えのみによって作製した。この多層膜反射鏡の屈折率差は、各層のSiOx(0≦x≦2)に関する組成差によるものであることが分かった。また、この多層膜反射鏡は膜厚を変化させることによって、反射率スペクトルのピーク波長を自在に変化させることができる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-04-24
著者
-
野崎 眞次
電気通信大学
-
小野 洋
電気通信大学電子工学専攻
-
森崎 弘
電気通信大学
-
剱持 大介
電気通信大学電子情報学科
-
佐藤 井一
電気通信大学電子情報学科
-
小野 洋
電気通信大学
-
野崎 眞次
電気通信大学大学院情報理工学研究科
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